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双波长紫外加工系统

双波长紫外加工系统

双紫外波长加工,高精度、高效率、高适应性。
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双紫外波长加工,高精度、高效率、高适应性。

产品型号:

       DU


产品特点

       本系统采用193nm准分子激光器和355nm固体激光器,兼顾了两种紫外激光器的优势,可以适应更多的材料加工;同时兼顾加工速速和微米级甚至百纳米级加工质量;原位加工,还可以完成不同材料逐层加工,不失精度。


选配:

       1、激光器:(以下激光器的两种或者多种)、二氧化碳激光器、固体激光器(1064、532、355、266、213nm;1030、515、343nm可选)、准分子激光器(波长308、248、193、157nm可选)、飞秒激光器(800、400、266nm;1028、514、343、257nm可选)、各种光纤飞秒激光器。

       2、多光路切换:同一种激光器还可以出基频、二倍频、三倍频、四倍频切换输出,或者多路输出。

       3、各种光束整形器件:光斑匀化器件、S波片、空间光调制器、贝塞尔光束、高斯转平顶等。

       4、振镜、旋切头:大尺寸加工,高深径比孔,倾斜孔等。