产品型号:
DU
产品特点:
本系统采用193nm准分子激光器和355nm固体激光器,兼顾了两种紫外激光器的优势,可以适应更多的材料加工;同时兼顾加工速速和微米级甚至百纳米级加工质量;原位加工,还可以完成不同材料逐层加工,不失精度。
选配:
1、激光器:(以下激光器的两种或者多种)、二氧化碳激光器、固体激光器(1064、532、355、266、213nm;1030、515、343nm可选)、准分子激光器(波长308、248、193、157nm可选)、飞秒激光器(800、400、266nm;1028、514、343、257nm可选)、各种光纤飞秒激光器。
2、多光路切换:同一种激光器还可以出基频、二倍频、三倍频、四倍频切换输出,或者多路输出。
3、各种光束整形器件:光斑匀化器件、S波片、空间光调制器、贝塞尔光束、高斯转平顶等。
4、振镜、旋切头:大尺寸加工,高深径比孔,倾斜孔等。